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电脑式涂胶烤箱HMDS预处理真空烘箱

电脑式涂胶烤箱HMDS预处理真空烘箱

HMDS预处理真空烘箱,用于半导体生产工艺中光刻胶和晶片涂胶,将HMDS涂到晶片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物,是一种表面活性剂,它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。


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HMDS预处理真空烘箱,用于半导体生产工艺中光刻胶和晶片涂胶,将HMDS涂到晶片表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物,是一种表面活性剂,它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。